Energiedispersive Röntgenspektralanalyse

Auch Energy-Dispersive X-Ray Spectroscopy (EDS/EDX) genannt. Klassisches Verfahren, das zur Analyse der oberflächen­nahen Bereiche von Festkörpern oder zur Charakteri­sierung von dünnen Schichten eingesetzt wird. DieSiehe Chip Informationstiefe des Verfahrens (um) liegt dabei wesentlich höher als bei den elektronen- und massen- spektrometrischen Verfahren (nm).