Das geordnete Aufwachsen einer Kristallschicht auf einer Kristallschicht des gleichen Stoffs (Homoepitaxie) oder eines anderen Stoffs (Heteroepitaxie). Wird z. B. zur Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet, um dieSiehe Chip verschiedenen Schichten eines Chips oder die KontaktstellenSiehe Adhäsionspunkte von Flip-Chips zu erzeugen. Eine weitere Anwendung ist die hochreine Oberflächenbeschichtung von Solarzellen zur Erhöhung des Wirkungsgrads.
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