Eine der wichtigsten Schlüsseltechnologien, ihr Gegenstand ist die Erforschung, Herstellung und Anwendung von Systemen in Abmessungen unterhalb von 100 Nanometern (nm; 1 nm = 10-9 Meter = 1 milliardstel Meter).
Eine der wichtigsten Schlüsseltechnologien, ihr Gegenstand ist die Erforschung, Herstellung und Anwendung von Systemen in Abmessungen unterhalb von 100 Nanometern (nm; 1 nm = 10-9 Meter = 1 milliardstel Meter).