XPS-Analyse

XPS-Analyse (X-ray Photoelectron Spectroscopy). X-ray = Röntgenstrahlung, auch ESCA (Electron Spectros­ copy for Chemical Analysis) genannt. Etablierte Methode, um die chemische Zusammensetzung von Festkörpern speziell an deren Oberfläche zu bestimmen. Dabei werden Photoelektronen mit Röntgenstrahlen angeregt, sodass diese aus der Oberfläche emittieren und detektiert werden können.